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電子新彩彩票包括些什么
2019年10月23日
 

            半導體工業用的新彩彩票統稱電子新彩彩票。按其門類可分為純氣,高純氣和半導體特殊材料新彩彩票三大類。特殊材料新彩彩票主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純新彩彩票主要用作稀釋氣和運載氣。電子新彩彩票是特種新彩彩票的一個重要分支。電子新彩彩票按純度等級和使用場合,可分為電子級,LSI(大規模集成電路)級,VLSI(超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路)級。    

            近幾年來,智研數據研究中心隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展,電子新彩彩票市場需求量明顯增長,電子特種新彩彩票的國產化已是大勢所趨。據了解,我國在國產化方面取得可喜進展:國產高純氨改變了國外新彩彩票公司壟斷市場的格局,高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束,高純氯化氫已成功打開國內市場。
       
電子新彩彩票主要包括:鍺烷、乙硼烷、乙硅烷、溴化氫、硒化氫、四氯化硅、四氟化碳、砷化三氫、三氯氫硅、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、氯氣、氯化氫、六氟乙烷、六氟化鎢、、硫化氫、磷烷、硅烷、氟化氫、氘氣、氨氣、電子級笑氣等.
其中六氟化硫、電子級笑氣、硫化氫、磷烷使用較多。

電子新彩彩票安全日趨嚴格:
新彩彩票     電子新彩彩票可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險,其危害性被不同國家區域和不同的工業組織進行了詳細的危險等級分類。對于一個大規模量產的電子工廠,其使用和存儲的電子新彩彩票數量之多可以毫不夸張地被視為擁有“大規模殺傷性”武器庫。任何設計上、施工中、日常運行里存在的安全隱患都會對工廠、人員和環境帶來巨大的災難。

如何保證電子新彩彩票的安全儲存、使用操作,系統的工藝和產品本征安全設計,在眾多的國際標準規范如SEMI,NFPA,CGA,FM等都有很詳細的規定,目前中國國內也正在起草針對電子特種新彩彩票的國家標準規范。通常而言,會根據新彩彩票性質和相容性,將新彩彩票房分成可燃新彩彩票房、腐蝕性新彩彩票房、惰性新彩彩票房、硅烷新彩彩票房、三氟化氯新彩彩票房等。新彩彩票房規劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量控制等等。針對硅烷輸送系統,特別是BSGS系統,因總量較大,應采用隔離式建筑。新彩彩票房和氣柜應采用自動噴淋系統。而三氟化氯遇水反應,需要采用二氧化碳滅火系統。

新彩彩票使用電子新彩彩票的工廠抽風系統也根據危險品性質分成了普通排風系統(GEX),酸性排風系統(SEX),溶劑排風系統(VEX)和氨氣排風系統(AEX)。換鋼瓶時的吹掃尾氣,也建議排放至尾氣處理器中。

輸送管道一般采用無縫SS316L EP管。施工采用自動軌道焊接,經保壓、氦檢漏和純度測試。對于劇毒、高反應性和自燃新彩彩票,應使用雙套管輸送。一些劇毒新彩彩票如磷烷、砷烷等,安全輸送系統(SDS)正在被廣泛使用。其鋼瓶內采用負壓吸附的方式,用真空法輸送,從根本上避免了新彩彩票的泄漏。

新彩彩票偵測系統(GDS)是全廠生命安全系統(LSS)的重要組成部分。對于偵測器的要求,除了精度高,反應迅速外,還應具備自檢功能。



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